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1996
Legtenberg, R. and Groeneveld, A.W. and Elwenspoek, M.C.
(1996)
Comb-drive actuators for large displacements.
Journal of micromechanics and microengineering, 6 (3).
pp. 320-329.
ISSN 0960-1317
*** ISI Impact 2,276 ***
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