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1997
Ducso, C. and Vazsonyi, E. and Adam, M. and Szabo, I. and Barsony, I. and Gardeniers, J.G.E. and van den Berg, A.
(1997)
Porous silicon bulk micromachining for thermally isolated membrane formation.
Sensors and actuators A: Physical, 60 (1-3 pt 1).
pp. 235-239.
ISSN 0924-4247
*** ISI Impact 1,933 ***
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